臭氧一般是通过高压电离（或电解、化学或光化学反应）产生的。在这个过程中，空气中的部分氧气被分解成氧原子，然后氧原子与氧分子重新结合形成臭氧。产生臭氧的设备称为臭氧发生器，主要包括高压放电、电解和紫外线照射类型。