不同国家和组织对臭氧浓度的安全标准不尽相同，如国际臭氧协会和美国的标准为0.1ppm，这也是德国、法国、日本的标准，我国的标准为0.15ppm。一般人体接触的臭氧允许浓度不超过0.2mg/m3，卫生部规定最高允许臭氧浓度标准为0.2mg/m3。空气除臭、杀菌消毒需要较低的浓度，表面消毒则需要较高的浓度。